扫描电镜

 

FEI Quanta 450FEG扫描电镜

 

仪器主要技术参数：

分辨率：高真空模式：1.0nm @ 30kV(SE)；2.5nm @ 30kV(BSE)；3.0nm@1kV(SE)；

       低真空模式：1.4nm @ 30kV (SE)；2.5nm @ 30kV (BSE)；3.0nm @3kV(SE)；

       环境真空(ESEM)：1.4nm (SE) @ 30 kV下;

检测器:E-T二次电子探头；大视场低真空气体二次电子探头(LFD)；气体二次电子探头(GSED)；样品室红外CCD相机;高灵敏度、低电压固体背散射探头；气体背散射探头;四分固体背散射探头；闪烁体型背散射探头/CLD;vCD (低电压高衬度探头)；电子束流检测器；分析型气体背散射探头(GAD)；Nav-Cam™ – 光学相机彩色成像，用于样品导航阴极荧光探测器能谱。

放大倍数:6 x–1,000,000x；

样品室：左右内径284 mm

10 mm分析工作距离

8个探测器/附件接口

EDS采集角: 35°样品台:

X/Y = 100 mm

Z = 60 mm

倾斜：- 5° - to + 70°

连续旋转360°

重复精度: 2 μm (X/Y方向)

应用范围：用于鉴定和分析材料表面结构组织、缺陷及晶体结构，能谱仪可以用于材料微区的杂质分析。

透射电镜

设备介绍： 

 

 

JEM－2100透射电子显微镜

JEM－2100透射电子显微镜为日本电子公司生产的超高分辨（HUR）型透射电子显微镜。采用六硼化镧灯丝和钨灯丝作为电子发射源。

技术参数：

加速电压：80~200KV；

最高放大倍数：150万倍 ；

分辨率：点分辨率为0.19nm，晶格分辨率为0.14nm；

应用范围:可以用于半导体工业、材料（金属、非金属）、生物医学、化工等领域的显微组织观察及衍射标定。由于其采用高亮度、高稳定性的LaB6电子枪，不但容易获得高分辨图像，还可以在进行纳米级高灵敏度分析时发挥巨大威力，同时对于纳米碳管、高分子材料等容易受强电子束损伤的材料，又能够非常方便地调整到最佳加速电压。与能谱仪结合，还可以在观察组织的同时进行材料的微区成分、点成分及元素的面分布等分析。

业务范围：透射电镜样品制备；材料显微组织观察及衍射标定，高分辨图像，材料的微区成分、点成分及元素的面分布等分析。

X射线衍射仪（XRD）

 

D8 ADVANCE X射线衍射仪

设备主要技术参数：

最大输出功率：3.0 kW，

最大管压 ：60kV，

最大管流：80mA，

测角仪半径： ≥200 mm，连续可调；

2θ转动范围：-110º～168º，

可读最小步长：0.0001º ，

角度重现性：0.0001º

应用范围：对金属和非金属多晶粉末、块状及片状样品进行物相检索分析、物相定量分析、基本参数法线形分析分析、晶胞参数计算和固溶体分析、微观及宏观应力分析。